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性能規(guī)格：

孔徑大小等級：

0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 1.0 micron (μm)

最大壓差：

3.40 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @25°C (77°F)

最大操作溫度:

60°C (140°F)

膜區(qū)域：

16:1500 cm2

40:3500 cm2

應(yīng)用：

193nm和248nm光刻膠系統(tǒng)過濾

遺留光化學(xué)過濾

適用于顯影劑和去離子水