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型號

(H-)EP-TF-5310

(H-)EP-TF-5320

(H-)EP-TF-5330

(H-)EP-TF-5340

流量范圍

(滿量程)

5mL/min(nor) to
20L/min(nor)

20 to
80L/min(nor)

80 to
300L/min(nor)

300 to
500L/min(nor)

流量輸出信號

DC  0 to 5V

精確度

±1.0% F.S. (25°C Standard)

響應(yīng)時間

90% 三秒內(nèi)

最大操作壓力

4.9 MPa (H-EP-TF-5300 is up to 14.7 MPa)

環(huán)境和氣體溫度

5 to 50°C

溫度影響

范圍 0.1% F.S./ °C max.
基準(zhǔn)點 0.05% F.S./°C  max.

壓力影響

0.1% F.S.(0.1 MPa) max.

附件

防火結(jié)構(gòu)  JIS d3aG4

電纜引入線

G1/2(=PF1/2) 螺母

電源

DC +15V 25mA max. 型號TM-2000
DC -15V 5mA max (需用轉(zhuǎn)換單元)

氣體連接材料

SUS316,Viton or CR

接頭尺寸 (OD)

1/4"

1/4", 3/8"

3/8", 1/2"

3/8", 1/2", 3/4"

連接型號

Swagelok, VCR, VCO, Rc (=PT), NPT, Flange