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PRODUCT
非接觸式晶圓電阻率，厚度和P/N測量儀
MX60x 系列用來測量硅片和其他材料的電阻率或表面電阻。
應(yīng)用：
- 晶圓生產(chǎn)
- 回收
- R&D
- 在工藝控制方面
- 厚度
- TTV
- 電阻率/表面電阻
- RRV
- 摻雜物
低電阻率：
| 計量器型號 | 晶圓尺寸 | 電阻率范圍 | 厚度范圍 |
| MX 604 / MX 604-B | silicon blocks | 0.25 - 25 Ohm*cm | |
| MX 604-S | 2" - 8" | 0.1 - 50 Ohm/square | 200 - 900μm |
| MX 604-ST |
125x125, 156x156mm 2"-6" |
0.06 - 30 Ohm*cm | 60 - 300μm |
| MX 608 | 6", 8" | 0.001 - 200 Ohm*cm | 500 - 800μm |
| MX 608-q | 125x125, 156x156mm | 0.1 - 50 Ohm*cm | 150 - 350μm |
| MX 6012 | 8", 12" | 0.001 - 200 Ohm*cm | 600 - 900μm |
高電阻率：
| 計量器型號 | 晶圓尺寸 | 電阻率范圍 | 厚度范圍 |
| MX 601 | up to 6" | 5E4 to 5E9 Ohm*cm | 350 - 650μm |
| MX 6010 | 2", 3", 4" | 2E5 to 2E9 Ohm*cm | 300 - 600μm |
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