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為苛刻的工藝過(guò)程快速和精確的溫度控制

熱電溫度控制系統(tǒng)LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復(fù)性的溫度控制。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(pán)(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換， 這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且精準(zhǔn)的溫度控制，滿足了當(dāng)今元器件生產(chǎn)尺寸越來(lái)越小的要求。

與基于壓縮機(jī)的系統(tǒng)相比，熱點(diǎn)在線使用 Semistat 溫度控制系統(tǒng)，降低能耗多達(dá) 90 %?？砂惭b在使用地點(diǎn)的地下，非常節(jié)省空間，這樣最大限度地減少無(wú)塵室的使用?？焖俸途珳?zhǔn)地將過(guò)程溫度曲線控制在 ±0.1 K，從而提高晶圓間均質(zhì)性。

重要功能：

低能耗，沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)

占地空間小，如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab

極低的導(dǎo)熱液體填充量

技術(shù)參數(shù)：