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應(yīng)用：

  在集成電路、LED、太陽(yáng)能電池、平板顯示器制造業(yè)中高純氣體的控制和傳送中廣泛的應(yīng)用，包括大宗氣體的供應(yīng)系統(tǒng)和特殊氣體的供應(yīng)系統(tǒng)，及其各種工藝設(shè)備。

特點(diǎn)：

  高潔凈度設(shè)計(jì)，使用最合適的材質(zhì)適用于不同化學(xué)品和不同溫度及壓力的應(yīng)用。

  眾多專(zhuān)利設(shè)計(jì)并選用優(yōu)質(zhì)材料保證產(chǎn)品的高精度和穩(wěn)定性。

  小型化設(shè)計(jì)以符合更小空間的安裝并為客戶降低成本。

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