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無接觸式晶圓幾何結(jié)構(gòu)測量儀
E+H 幾何結(jié)構(gòu)測量儀是基于兩塊相互平行安裝的厚板。嵌入在金屬碟內(nèi)的是一組電容式的距離傳感器。晶圓能夠在兩個金屬碟內(nèi)手動的或者自動的移動，測量時則不需要任何移動。
應用：
- 引入式的晶圓檢測
- R&D
- 工藝條件
- 在工藝控制方面
- 厚度 (e.g. backend)
- TTV
- 曲翹度, FPD
- 應力
標準厚度：
| 計量器型號 | 晶圓尺寸 | 傳感器數(shù)量 | 厚度范圍 |
| MX 203-4-21 | 2", 3", 4" | 5, 13, 21 | 200 - 800μm |
| MX 203-6-33 | 4", 5", 6" | 17, 25, 33 | 300 - 900μm |
| MX 203-8-37 | 6", 8" | 21, 37 | 400 - 1000μm |
| MX 204-8-37 | 6", 8" | 21, 37 | 400 - 900μm |
| MX 2012 | 12" | 69 | 500 - 1000μm |
| MX 2012-H | 12" | 69 | 500 - 900μm |
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